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中國12吋晶圆项目光刻機采購统计与光刻材料市場 (附项目地圖)

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發表於 2021-5-28 12:34:04 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
——光刻機,半导體系體例造的焦點装备

光刻是集成電路制造的最关头、最繁杂、耗時占比最大的焦點工藝,约占晶圆制造总耗時的40%-50%。公然数据显示,2019年光刻装备占半导體晶圆处置装备市場的23%摆布。

近十几年来,ASML处于全世界半导體前道光刻機绝對龙头职位地方,市場份额终年在60%以上,市园地位极為安定。而在高端機型方面(ArF、ArFi、EUV),現在ASML更是盘踞靠近90%的市場,在最先辈EUV光刻機這块,更是ASML唯一家!比拟之下,日本双巨擘——尼康和佳能逐步衰落,2019年尼康市場份额仅為7%,佳能更是抛却了高端光刻機市場。

比年来,中國芯片制造行業飞速成长,多个12英寸出產線建成或扩產,带来庞大的光刻機采購需求,亚化咨询收拾了近几年海内部門12吋晶圆產線的光刻機采購环境。

——光刻胶,半导體系體例造的焦點質料

光刻胶是半导體系體例造的焦點工藝質料之一。全世界可以或许出產光刻胶的企業比力少,重要由美國Shipley(已被陶氏收購)、Futurrex;德國Microresist Technology、Allresist;日本東京应化、JSR、信紗窗清洗刷,越化學、住友化學;瑞士GES;韩國東进化學、生薑生髮水,東友邃密化學;台灣长春團體、亚洲化學等,這些企業盘踞全世界跨越95%的市場份额。

今朝半导體先辈制造工藝利用至多的仍是ArF光刻胶和KrF光刻胶。JSR是ArF光刻胶市場龙头,其ArF光刻胶市占率约為24%;東京应化(TOK)是全世界KrF光刻胶市場龙头,其KrF光刻胶市占率约為27%。

亚化咨询估计,2020年全世界半导體光刻胶市場范身體美白乳,围估计跨越21亿美元,光刻进程頂用到的質料(光刻胶、光刻胶辅材、光罩)约為晶圆制造質料市場的26%。

今朝,海内90-14nm半导體系體例程的高端半导體芯片制造所用的ArF光刻胶100%必要入口,此中跨越90%為日本制造,ArF高端光刻胶產物在海内一向是空缺。到今朝為止,泰西及日本等國度仍對中國制止输入ArF光刻胶技能。

而在下流行業3D NAND的光刻技能成长中,KrF光刻技能占重要职位地方,但今朝该种类的光刻胶多為日韩、泰西等國度供给,代表示阶段及将来5年内处于主流职位地方的3D NAND制造用的厚膜光刻胶仍难觅海内光刻胶供给商踪迹。是以,中國想要把握ArF和KrF厚膜等高端光刻胶技能,國產化替换势在必行。

——光掩膜,芯片制造中不成轻忽的硬件本钱

光罩,也称光掩膜版,是用于半导體光刻进程中的母版。芯片的制造必要颠末繁复的光刻与刻蚀进程,此中用到的光罩也不止一张,14nm工藝制程约莫必要60张光罩,而到了7nm工藝制程最少必要80张光罩。

光罩的用度极為昂贵,主如果由于光罩制造进程中所用到的Mask Writer(光罩写入機)的代价很是之高。Mask Writer是将已設計好的電路圖案显現到光罩上。一台Mask Writer的代价一般必要上万万美金,5-7nm的Mask Writer代价乃至靠近一亿美金!全世界可以供藝Mask Writer的供给商未几,日本廠商Nuflare几近处于垄断职位地方。

采纳分歧的制程工藝,其必要的光罩本钱也不不异,比方40/28nm制程工藝現現在已經是很是成熟,其對应的光罩本钱也比力低。

芯片硬件本钱=(光罩本钱+晶圆数目×单元晶圆本钱+测试本钱+封装本钱)/终极制品率

可以看出,在流片或芯片線產能不高時因為晶圆数目较少,流片本钱重要在于光罩本钱。當產量足够大,极高的光罩本钱就可以被庞大的晶圆数目所分摊,芯片的本钱便可以大幅低落。

台积電、英特尔、三星所用的光罩绝大部門都是由本身專業的工場出產,其他的半导體光罩市場重要被美國Photronics、日本DNP和日本Toppan三家所垄断。亚化咨询估计,2020全世界半导體光罩台北市花店, 市場约為41亿美元。

——光刻气,國產化先行者

光刻气是用来發生光刻機光源的電子气體。光刻气大多為希有气體,或希有气體和氟气的夹杂物,常见的DUV光刻气包括Ar/F/Ne夹杂气、Ar/Ne夹杂气、Kr/F/Ne夹杂气、Kr/Ne夹杂气等。

因為台积電、三星等廠商逐步将部門產能转向EUV部門,估计将来全世界DUV光刻气市場的增量大部門在中國大陸。今朝林德旗下NOVAGAS是全世界最大的DUV光刻气供给商。

按照中國電子質料协會数据显示2015年,中國半导體DUV光刻气需求约為7000立方,彻底依靠入口,重要供给商為林德團體、液化氛围團體、普莱克斯團體等。2016年起,华特光刻气產物进入市場,2017韶华特Ar/F/Ne夹杂气、Kr/Ne夹杂气、Ar/Ne夹杂气、Kr/F/Ne四种光刻夹杂气產物經由過程了ASML认证。

估计从2021年起,中國光刻气市場會跟着海内12吋芯片廠產能的增长而快速增长,增量重要在长江存储、中芯國际、华虹及其他外资廠。估计2025年中國DUV光刻气市場将破亿元人民币。光刻气市排場临國產化的機會。

【中國光刻与刻蚀技能、質料与装备论坛】

中國光刻与刻蚀技能、質料与装备论坛

(12月30-31日·上海)

集會名称:光刻与刻蚀技能、質料与装备论坛

集會時候:2020年12月30-31日

集會地址:上海

集會范围:100-120人

觀光考查:上海集成電路科技馆、上海中間

集會主题:财產政策、市場供需、技能与經济、项目结構、立异利用

主理单元:亚化咨询

日程放置

2020年12月30日 礼拜三


全世界光刻質料、刻蚀气體市場——Linx Consulting

全世界半导體光刻機与刻蚀機市場环境及今朝的國產化环境——中银國际


华特气體DUV光刻气國產化之路——华特气體

面向10纳米如下工藝节點的导向自组装光刻工藝——复旦大學

半导體前道的涂胶显影工藝——沈阳芯源微電子

中國光刻胶國產化——汉拓光學

EUV光刻胶的研發与制造——默克

半导體用光掩膜的出產制造——龙圖光電

抗反射底涂层質料——北京师范大學

2020年12月31日 礼拜四

商务考查:上海集成電路科技馆、上海中間

推行方案

项目

项目内容

主题演讲

30分钟主题演讲

参會名额

微信推送

Logo展現

布景墙 logo,會刊封面logo

會刊告白

钻研會會刊,彩色全页告白(尺寸A4)

资料入袋援助

企業的鼓吹册放入参會袋子

現場展台

現場展現台,展現样品、资料,含两个参會名额

易拉宝

現場1个易拉宝展現

胸带挂绳援助

挂有企業标识的胸带

参會证援助

挂有企業标识的胸牌

礼物援助

印有援助商logo的礼物,用于赠予参會听众

详细產物组合价位请来電详谈!

徐司理

MP:18021028002

Email:amy@asiachem.org

【半导體年度陈述】

《中國半导體大硅片年度陈述》

《中國半导體電子气體年度陈述》

《中國第三代半导體年度陈述》

《中國半导體先辈封装年度陈述》

亚化咨询已陸续推出《中國半导體大硅片年度陈述》、《中國半导體電子气體年度陈述》、《中國第三代半导體年度陈述》、《中國半导體先辈封装年度陈述》,包括项目舆圖、excel项目详情表,為企業决议计划者供给客觀的、可托赖的信息和数据,以供读者掌控行業脉搏,洞察機會,低落危害,拓展商機。

接待征订!如需索取目次接待接洽:

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