上海最大集成电路投资项目华力12英寸先进生产线首台工艺设备搬入

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5月21日，在浦东新区康桥工业园南区，由华虹团体旗下上海华力集成电路制造有限公司扶植和营运的12英寸先辈出产线扶植项目（如下简称“华虹六厂”）实现首台工艺装备——光刻机搬入，标记着华虹六厂从基建阶段进入工艺装备安装调试阶段。

在上海就可以出产28纳米芯片

作为上海市最大的集成电路财产投资项目，华力12英寸先辈出产线总投资387亿元人民币，规划于2022年末建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片出产线。

集成电路技能前进，一般用芯片集成度和微细加工精度两个指标来权衡。芯片集成度，指单一芯片中所含有的晶体管数目。晶圆尺寸从3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已成长到今朝的12英寸，而且18英寸也起头处于研发阶段。从今朝全世界晶圆厂产能环境来看，12英寸出产线重要出产高机能产物，工艺技能加倍先辈，是今朝的主流扶植标的目的。行业知名咨询机构ICInsights（集成电路察看）阐发认为，截至2016年末，300毫米（12英寸）晶圆占全世界晶圆厂产能的63.6％，估计到2021年末将到达71.2％，其年均复合增加率为8.1％。

华力12英寸先辈出产线工艺笼盖28&mda台中魚訊,sh;14纳米技能节点。今朝，世界集成电路出产程度最高已到达7纳米，主流出产线的技能程度为28—14纳米，中国大陆集成电路企业出产工艺程度最高为28纳米。华虹团体此前已具有一条全主动的12英寸芯片出产线，今朝重要采纳的是55—28纳米技能。比拟第一条12英寸出产线，这次项目在技能工艺和产能两方面都有所晋升。

“中国大陆28纳米芯片的产能很是少，将来4万片月产能建成后，我国28纳米芯片的产能将晋升一倍。到时辰，咱们利用的高端芯片将有一部门来自国产，在上海就可以出产28纳米芯片，这对付我国集成电路财产成长意义深远。”上海华力微电子有限公司总裁雷海波说，28纳米芯片的利用范畴很是遍及，好比手机通讯、物联网、人工智能范畴的高端芯片。该项目重要从事逻辑芯片出产，在这一技能根本上，可以开辟出射频、高压、嵌入式存储器类芯片等很多产物，重点办事海内设计企业先辈芯片的制造，并知足部门事关国度信息平安的重点芯片制造需求。

大陆最先辈的淹没式光刻机

这次搬入的首台工艺装备为荷兰阿斯麦公司的NXT1980Di光刻机，是今朝中国大陆集成电路出产线上最先辈的淹没式光刻机。

光刻机是芯片制造的焦点装备之一，依照用处可以分为，用于出产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造范畴的投影光刻机。在加工芯片的进程中，光刻机经由过程一系列的光源能量、外形节制手腕，将光束透射过画着路线图的掩模，经物镜抵偿各类光学偏差，将路线图成比例缩小后映照到硅片上，然后利用化学法子显影，从而获得刻在硅片上的电路图。简略地说，就是将芯片设计的图形从掩模版上“转移”到涂在硅片概况的光刻胶上。

华力12英寸先辈出产线扶植项目首台工艺装备的搬入，标记着将康桥工业园南区打造为上海集成电路财产成长新基地取患了阶段性成功，这对上海市落实《国度集成电路财产成长推动纲领》，同时对上海扶植先辈制造业的财产集群高地，打响“上海制造”品牌九州娛樂,有偏重要意义。将来五个月内，华虹六厂工艺装备将集中搬入，此中也包含一些国产装备，本年底前将台北當舖,完成出产线串线并实现试流片，估计月产能到达1万片。

进入全世界集成台中借錢, 电路财产阵营前列

“有点冲动，也有点冲动。”华虹团体党委布告、董事长张素心说，自2016年12月30日动工以来，泛博扶植者降服连缀阴雨、延续高温等晦气身分，施行立体和错时施工。颠末约一年半的尽力，天天事情12小时以上，今朝主厂房已完成净扮装修，相干配套电机装备筹备停当，具有了工艺装备搬入前提，比原规划进度提早1个半月。

项目建成后，华虹团体将成为具有笼盖从0.5微米到14纳米各工艺节点的大型集成电路制造财产团体，在财产范围和工艺技能长进入全世界集成电路财产阵营的前列。该项目已被列入国度《“十三五”集成电路财产重大出产力结构计划》，是国度“910工程”的子项目之一，也是“十三五”时代上海市重大财产项目和上海市重大工程，并实现了昔时立项昔时动工。